Local VOC

吸附浓缩半导体产业生产过程中，黄光区内光阻涂布等制程工艺挥发的有机物，并输送至后序中央有机排气系统集中处理。避免VOCs在洁净间环境内积聚，有效保障生产员工的职业健康和安全，提高客户制程的产品良率。

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